針對電子半導體廢水處理，龍湖半導體工業是一個十分依賴水資源的行業，也是高耗水的行業，尤其在水資源有限的情形下，限水、缺水對半導體生產企業的營運產生巨大壓力。因此，對半導體生產企業節約用水的研究與實踐，有助于提升用水效益，降低用水成本。

目前，節約用水、中水回用、廢水的回收利用已成為半導體業者應對缺水 危機的重要措施，特別是廢水的回收利用，既能減少對水資源的需求，又能降 低生產成本，同時也減少對環境的污染。

1、MVR蒸發器工作原理

MVR蒸發器利用蒸發器中產生的二次蒸汽，經壓縮機壓縮，壓力、溫度升高，熱焓增加，然后送到蒸發器的加熱室當作加熱蒸汽使用，使料液維持沸騰狀態，而加熱蒸汽本身則冷凝成水。這樣，原來要廢棄的蒸汽就得到了充分的利用，回收了潛熱，又提高了熱效率，生蒸汽的經濟性相當于多效蒸發的3效，減少了對外部加熱及冷卻資源的需求，降低能耗。

壓縮機對物料蒸發產生的二次蒸汽進行壓縮做功，提高二次蒸發器的壓力和溫度，將電能轉化為熱能，升溫后的二次蒸汽回到蒸發系統，對物料進行加熱，從而達到二次蒸汽熱娢再利用的目的，節能效果顯著，加熱過程主要消耗電力。

2、三效蒸發器工作原理

三效蒸發器是由相互串聯的三個蒸發器組成，低溫加熱蒸氣被引入*效，加熱其中的廢液，產生的蒸氣被引入第二效作為加熱蒸氣，使第二效的廢液以比*效更低的溫度蒸發，這個過程重復到第三效。*效冷凝水返回熱源處，其它各效冷凝水匯集后作為淡化水輸出。

只要一份的蒸氣投入，可以蒸發多倍的水出來。同時，高鹽廢水經過由*效到第三效的依次濃縮，在第三效達到過飽和而結晶析出，由此實現鹽分與廢水的固液分離。在負壓的作用下，三效蒸發器中的廢水產生的二次蒸氣自動進入冷凝器，在循環冷卻水的冷卻下，廢水產生的二次蒸氣迅速轉變成冷凝水。冷凝水可采用連續出水的方式，回收至回用水池。三效蒸發結晶器在廢水蒸發過程中蒸發效益更高。

3、多效蒸發器工作原理

多效蒸發器的原理是通過鮮蒸汽驅動一效產生蒸發，再利用一效產生的二次蒸汽來驅動下一效蒸發，以此來達到節能的目的。為了減少一次蒸氣的消耗量，采用將生產中產生出的二次蒸氣導入第二個蒸發器中作加熱蒸氣用，第二個蒸發器產生的二次蒸氣還可導入第三蒸發器中作加熱蒸氣用，每一個蒸發器稱為一效，以此類推。這樣，幾個蒸發器串聯操作，就組成了多效蒸發器。

多效蒸發器由較原始的蒸發釜，發展成單效、雙效、三效、四效或者更多效蒸發器，其目的都是為了逐漸減少能源消耗更高。